近期，江苏某先进半导体设备公司与SEKO达成合作。该企业是一家集半导体芯片湿法工艺专业设备研发、生产、销售与服务于一体的综合性高新技术企业，致力于为集成电路制造、先进封装及晶圆制造等领域提供湿法制程设备的整体解决方案。
该企业引进SEKO气动泵J系列产品，用于晶圆清洗设备中的酸类清洗液回流输送环节。
SEKO赛高 AODD气动双隔膜泵系列产品
在晶圆湿法清洗过程中，晶圆表面会由化学药液和超纯水进行处理，以去除污染物及工艺残留。清洗完成后，部分酸类清洗液需要通过管路回流至设备药液槽中，以配合现场工艺流程的连续运行。该项目中，SEKO J系列气动泵承担了这一回流输送任务，将晶圆清洗后的酸类液体稳定输送回设备药液槽，为设备内部液体循环及清洗流程提供支持。
半导体湿法工艺场景对设备运行的稳定性、材料适配性和现场安装条件均有较高要求。由于该应用涉及酸类化料，泵在实际运行中不仅需要适配腐蚀性液体输送需求，也需要在设备内部有限空间内保持稳定工作。SEKO J系列气动泵有多种材质可选，不与强腐蚀性液体发生化学反应，这也是该企业选择J系列的主要原因之一。
作为晶圆清洗设备液体循环流程中的重要输送单元，SEKO气动泵在该项目中稳定的输送表现，有助于减少人工干预，使设备内部液体管理流程更加规范，也为该企业实验中心的后续工艺验证与设备运行提供了有力支持。
SEKO气动双隔膜泵
ARKAD (J系列)
J系列产品泵型参考
Why：为什么选择J系列？
1、1/2"接口：更多规格可选
SEKO AODD气动隔膜泵在J30和J60两个规格上均采用1/2''接口设计，同时提供更丰富的流量选择。这意味着在保持接口统一的前提下，用户可以根据不同工况需求进行更灵活的选型，兼顾系统适配便利性与应用覆盖范围。
2、大规格型号也有PP中间体
对于更大规格型号，SEKO 采用PP中间体结构 (central block) 。相较于传统金属中间体，PP材质具备更优异的耐腐蚀性和化学兼容性，在面对复杂介质和更高材料要求的应用环境时，更能体现出长期稳定运行的优势。
3、应用行业丰富
SEKO的J系列气动泵行业应用极广，不同材质、不同性能特征的气动泵适用场景大相径庭，有效满足各行业的各类介质输送需求，包括产品喷涂、印刷、纺织行业、清洁、水处理、油气、造纸厂、特种车辆、电镀等行业。
千万次疲劳度验证
坚强隔膜，高频使用场景低更换频率
SEKO J系列的隔膜耐高频使用是该系列核心特征之一。测试显示，内部隔膜可承受超上千万次疲劳循环，远高于行业常见标准。这意味着：
更少计划外停机
更低更换频率和人工投入
更长生命周期成本优势
对于24小时连续不停运转的生产环境，这种耐用的隔膜无疑是优选。
易维护设计
停机不再是“半天工程”
相比部分竞争对手的复杂拆装设计，SEKO J系列在结构上更加人性化：
模块化设计：关键部件可独立更换，不必整机大拆。
标准化接口：适用国标和国际安装标准，降低安装难度。
轻量化材质：更易于现场操作人员快速完成维护。
这样一来，换一次膜片的时间，可能从数小时缩短到几十分钟。
危险介质安心输送
表现稳定，多场景兼容
J系列在各种复杂的使用场景都可以大显身手：
化工业：耐腐蚀材质保证强酸强碱工况下的稳定性。
涂料行业：脉动小，保证涂料均匀输送，不堵管。
电子/电镀行业：输送精细化学液体时更平稳，减少波动。
J系列气动泵在不同应用场景中都能取得稳定可靠的输送成效，可靠、稳定、安心。
全球品牌，售后安心
遍布全球120多个国家，家门口的售后
原厂认证备件：品质一致，SEKO标准。
全球技术团队：在中国市场也能享受国际同步的技术支持。
可追溯服务体系：方便企业做设备生命周期管理。
质量可靠，售后保障，全球技术支持——SEKO，全力助推每一位用户的高效生产。
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更新时间：2026-08-12 
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